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2006.03.14

ナノ機械加工システム

独立行政法人 産業技術総合研究所【理事長 吉川 弘之】(以下「産総研」という)先進製造プロセス研究部門【部門長 神崎 修三】ファインファクトリ研究グループ 芦田 極 研究員、国立大学法人富山大学【学長 西頭 三】(以下「富山大」という) 森田 昇 教授および 高野 登 助手は、走査型電子顕微鏡(SEM)内で動作するナノ機械加工システムを開発し、単結晶シリコンを被削材として、ナノスケール切削が進行する過程を動画で撮影することに成功した。

産総研:プレスリリース ナノスケール切削加工のリアルタイム観察に成功

微細加工の進歩は目をみはるばかりです.言葉で説明するより写真を見た方が分かり易いので,リンク先をご覧ください.

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