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2017.06.19

スピン型MEMSマイクロフォン

当社は、世界で初めてスピン型ひずみ検知素子を搭載したスピン型MEMSマイクロフォンを開発し、動作実証に成功しました(図2)。今回開発したMEMSマイクロフォンは、人の耳が聞き取ることのできる音域を超えた超音波まで広帯域で高精度な検出が可能です。

東芝 研究開発センター:研究開発ライブラリ スピントロニクス技術を応用した超高感度ひずみ検知素子技術を開発-金属ひずみゲージの2500倍、半導体ひずみゲージの100倍以上の検知感度を実現-)

エレクトレットコンデンサーマイク超音波域まで録音できると思っていましたが,調べた範囲では可聴域まででした.

高速回転する機械装置に組み込むことで早期の故障診断が可能になると思います.

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